SEMI規格について ー そもそもSEMI規格とはどのような規格なのでしょうか？ 大友　1950年頃にアメリカでトランジスタが発明されたのをきっかけに、半導体産業が⼤きく成⻑しました。そんななか半導体製造装置や材料の標準化が必要になり、1970年に半導体団体としてアメリカのカリフォルニア州に半導体業界SEMIが発⾜しました。1973年にはSEMI規格委員会が設置され、それ以降、材料以外にもハードウ … 続きを読む 「半導体製造装置」の国際的なガイドライン SEMI規格に準拠する製品開発について