SEMI規格は「半導体製造装置」の国際的なガイドラインです。タキゲンはSEMI S8 「半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン」に準拠した製品を取扱っています。

SEMI規格は不定期に改定されます。S8に関しては直近で2015年、2016年、2018年と行われました。特に2015年版ではハンドル寸法に関わる大幅な改定があり、設計変更が必要となりました。

開発の経緯

ー 従来ある製品を改良したのはなぜですか?

髙橋　「ハンドルの設計を1から行うのではなく、筐体の設計を変更しなくていいよう、A-89を取付け寸法はそのままに新しいSEMI規格に対応してほしい」という要望がありました。そのため取手のベースはそのままに、持手の部分だけを変更しました。安易に変更が可能かと考えていましたが、取付け座の寸法は変更できないため、いくつか工夫が必要になりました。

　新しいSEMI規格では、持手の部分をより丸くすることが求められました。そのまま変更すると指のかかりが悪くなるので、少し浮かせスペースを設けました。そのためビビリ音を抑えるための緩衝材の位置を移動するなど、快適にご使用いただくために細かい設計変更が必要になり、機構設計の腕の見せどころとなりました。

保守荷重について

ー SEMI規格には保守荷重という項目がありますが、これは許容荷重とは何が違うのでしょうか？

高橋　SEMI規格では、操作作業時と保守作業時の荷重の上限が定められています。これは、製品の強度から求めた許容荷重とは異なり、人間工学の観点から安全に使用できる範囲となります。A-89N-3を例にあげて説明すると、製品としては安全率を加味した許容荷重を50Nと定めていますが、SEMI規格では保守点検時に24N以下の力で扉を引くまたは持ち上げるために使用するように定められています。また、ユーザーが頻繁に使用する操作作業時の場合では9N以下と、より小さな力での作業を求められています。

この荷重は、持手の幅や断面形状などで細かく規定されています。幅が狭く掛けられる指が少なかったり断面が角張っていたりすると、指への負荷が集中し疲労が増大します。SEMI規格では疲労を最小限とするため、形状を基に荷重の上限を定めています。

また、半導体製造現場では手袋を着用することが多くあります。手袋も、クリーンルーム用・化学薬品用・絶縁用と種類があり、それぞれ厚みが異なります。SEMI規格では手袋の有無や種別も持手の幅の制約に加味されており、厚みのある手袋ほど条件が厳しくなります。国際的なガイドラインなので、手が小さい日本人の感覚からすると余裕があるように見えます。

SEMIのような業界規格は、市場での要求事項が明確になっていると言えます。寸法規定があると設計に制約が入り苦慮しますが、お客様のニーズに正確に応えることができます。その反面、改定内容によっては適用外となってしまう可能性があるので、常に最新規格へ注意を払い設計しています。

クリーンルーム用手袋装着時の保守荷重S8-0218（SESC6.7）2018

	保守荷重(N)	保守荷重(N)
商品番号	水平	垂直	許容荷重(N)
A-89N-1-Silver	MAX. 88	MAX. 294	490
A-89N-2-Silver	MAX. 88	MAX. 294	392
A-89N-3-Silver	MAX. 24	MAX. 24	50

統廃合について

ー 従来のハンドルとは統廃合しないのでしょうか？

高橋　SEMI規格では、「装置の人間工学設計に重大な影響を与える再設計がされた場合は、その再設計を最新版に適合させるべきである」と明記されており、既存装置に対しては従来ハンドルを継続して使用できます。長い目で見れば徐々に新ハンドルへ移行すると思いますが、ご注文をいただける限り並行して販売を続けます。

今回ご紹介させていただきましたハンドルは半導体市場のガイドラインに準拠していますが、安全性を配慮した製品作りは、他の分野でも通じることだと考えます。改良というかたちで設計したため様々な制約がありましたが、ご要望に合せて新規に設計することも可能です。使用条件に応じてご提案することもできますので、ぜひご相談ください。

製品情報

［A-89N］収納型ハンドル

最新版のSEMI規格に準拠しました

●SEMI S8-0218（SESC6.7）対応（2018年度版）
●指との接触面がR形状となっており、操作時の負担を軽減します。
●取手は開、または閉のいずれかの位置でも保持します。

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●仕様
【A-89N-1】
・材　　質：本体／アルミニウム合金（ADC）　グリップ／エラストマー樹脂
【A-89N-2・3】
・材　　質：亜鉛合金（ZDC）
・表面仕上：焼付塗装（シルバーメタリック）

●用途
・半導体製造装置

●納期
・標準品…納期お問合せください